HMDS真空干燥箱在LED制造上的应用
更新时间:2014/1/27 14:36:30  游览人次:3182

  HMDS真空干燥箱属于高端的真空箱,在国内很少厂家能生产,而我厂在这两年对于新产品的研发花了很大的精力,专门派技术工程师远赴国外学习制造过程和技术要领,经过我们技术部的商讨后,制造出适合国内外通用的HMDS真空干燥箱,由于技术服务所以HMDS真空干燥箱在市场上取得很好的销售效果。

  那么HMDS真空干燥箱适用于哪些行业呢?
先在光电行业中应用比较广泛,为提高光刻胶与片子粘附性、提高成品率,而HMDS基片预处理系统能彻底解决这些问题,有些LED芯片制造企业开始使用HMDS真空干燥箱基片预处理系统,经使用,效果非常好。其次,在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。

  HMDS使用过程中,实验的物料一般有些酸碱性腐蚀性,所以对HMDS真空干燥箱本身的质量要求也比较苛刻,必须耐腐蚀和酸碱性。因为制造一台HMDS真空干燥箱成本上比普通的真空烘箱要高些,所以在日常的维护中一定要注意:擦拭和封装。预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

  为了保护环境,请您在使用HMDS真空干燥箱后对尾气进行收集处理,减少对环境的污染。

 

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